Ny hamandoana dia fepetra mifehy ny tontolo iainana amin'ny fampandehanana ny efitrano fanadiovana. Ny lanjan'ny kendrena amin'ny hamandoana amin'ny efitrano madio semiconductor dia fehezina amin'ny 30 ka hatramin'ny 50%, mamela ny fahadisoana ho ao anatin'ny elanelana tery ± 1%, toy ny faritra photolithographic - na kely kokoa amin'ny faritra fanodinana ultraviolet (DUV). - Any amin'ny toerana hafa, afaka miala sasatra ao anatin'ny ± 5%.
Satria ny hamandoana mivaingana dia manana lafin-javatra maromaro izay mety hanampy amin'ny fanatanterahana ny efitrano madio amin'ny ankapobeny, ao anatin'izany:
● fitomboan'ny bakteria;
● Ny isan'ny fampiononana tsapan'ny mpiasa amin'ny mari-pana amin'ny efitrano;
● Mipoitra ny fiampangana static;
● harafesina vy;
● Fivondronan'ny etona rano;
● fahasimban'ny lithography;
● Fisotroan-drano.
Ny bakteria sy ny loto biolojika hafa (mofoka, viriosy, holatra, bibikely) dia afaka mitombo mavitrika amin'ny tontolo misy hamandoana mihoatra ny 60%. Mety hitombo ny zavamaniry sasany rehefa mihoatra ny 30% ny hamandoana. Rehefa eo anelanelan'ny 40% ka hatramin'ny 60% ny hamandoana, dia azo ahena ny fiantraikan'ny bakteria sy ny aretin'ny taovam-pisefoana.
Ny hamandoana mitovitovy amin'ny 40% ka hatramin'ny 60% dia faritra maotina ihany koa izay ahafahan'ny olona mahazo aina. Ny hamandoana be loatra dia mety hahatonga ny olona hahatsiaro ho ketraka, raha ny hamandoana ambanin'ny 30% kosa dia mety hahatonga ny olona ho maina, vaky, tsy mahazo aina ary tsy mahazo aina.
Ny hamandoana avo dia mampihena tokoa ny fivondronan'ny fiampangana static eo ambonin'ny efitrano madio - izany no vokatra tadiavina. Ny hamandoana ambany kokoa dia mety kokoa amin'ny fanangonam-bola ary loharano mety hanimba ny fivoahana electrostatic. Rehefa mihoatra ny 50% ny hamandoana havany, dia manomboka mihena haingana ny fiampangana static, fa rehefa latsaky ny 30% ny hamandoana havany, dia afaka maharitra ela eo amin'ny insulator na ny tany tsy misy tany.
Ny hamandoana eo anelanelan'ny 35% sy 40% dia mety ho marimaritra iraisana mahafa-po, ary ny efitrano fanadiovana semiconductor dia matetika mampiasa fanaraha-maso fanampiny mba hamerana ny fanangonana ny fiampangana static.
Ny hafainganan'ny fanehoan-kevitra simika maro, anisan'izany ny fizotry ny harafesina, dia hitombo rehefa mitombo ny hamandoana. Ny faritra rehetra miharihary amin'ny rivotra manodidina ny efitrano madio dia rakotra rano iray farafahakeliny farafahakeliny. Rehefa voaforon'ny vy manify izay afaka mihetsika amin'ny rano ireo surfaces ireo, dia mety hanafaingana ny fanehoan-kevitra ny hamandoana be. Soa ihany fa ny metaly sasany, toy ny alimo, dia afaka mamorona oksizenina miaro amin'ny rano ary misoroka ny fanehoan-kevitry ny oxidation; fa tranga iray hafa, toy ny varahina oksizenina, dia tsy miaro, ka amin'ny toerana avo hamandoana, varahina surfaces dia mora kokoa ny harafesiny.
Ankoatr'izay, ao anatin'ny tontolo hamandoana avo lenta, ny photoresist dia miitatra sy miharatsy aorian'ny tsingerin'ny fanangonam-bokatra noho ny fidiran'ny hamandoana. Ny adhesion photoresist koa dia mety hisy fiantraikany ratsy amin'ny hamandoana avo kokoa; Ny hamandoana ambany kokoa (eo amin'ny 30%) dia mahatonga ny adhesion photoresist ho mora kokoa, na dia tsy mila modifier polymeric aza.
Ny fifehezana ny hamandoana amin'ny efitrano madio semiconductor dia tsy voatery. Na izany aza, rehefa miova ny fotoana, dia tsara ny mandinika ny antony sy ny fototry ny fanao mahazatra sy ekena amin'ny ankapobeny.
Ny hamandoana dia mety tsy ho voamarika manokana ho an'ny fampiononana antsika olombelona, fa matetika dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fizotran'ny famokarana, indrindra fa ny hamandoana dia avo, ary ny hamandoana dia matetika ny fanaraha-maso ratsy indrindra, izany no antony Amin'ny fanaraha-maso ny hafanana sy ny hamandoana ao amin'ny efitrano madio, ny hamandoana no tiana.
Fotoana navoaka: Sep-01-2020